利用特制的高能UV光束照射恶臭气体、有机气体，裂解恶臭气体、有机气体如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOCs类，苯、甲苯、二甲苯的分子键， 同时空气中的氧分子被分解成游离氧，即活性氧，因游离氧不稳定需与氧分子结合，产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧) O＊+O2→O3(臭氧),臭氧对有机物具有极强的氧化作用，再通过臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使呈游离状态的单分子被臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物，如CO2、H2O等。

另外，高能UV紫外线光束裂解气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧氧化，彻底达到脱臭及的目的。